隨著電子行業(yè)的飛速發(fā)展，潔凈技術也在飛速的發(fā)展中。潔凈空調系統(tǒng)是實現(xiàn)潔凈室控制的主要手段。潔凈室送風和回風設計是影響潔凈室是否達標的重要因素，本文主要從回風系統(tǒng)入手，提出在潔凈室回風系統(tǒng)設計中易出現(xiàn)的問題，對其分析并提出解決辦法。

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1 .回風口位置設置常見問題

目前，非單向流是潔凈室氣流組織的主要采用方式，即高效送風口頂送（或側上送）側下回風；高效送風口布置形式為吊頂均布，或是布置于受保護的工藝生產線上方，回風口布置于側墻下方?！豆I(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50457-2008指出：回風口位置宜遠離潔凈工作臺；易產生污染的工藝設備附近應設排風口；有局部排風裝置或需排風的工藝設備，宜布置在潔凈室下風側。

由于送風口的布置是影響房間氣流組織及空調參數(shù)的主要因素，因此，許多潔凈室回風口布置存在以下幾點問題：有的回風口隨意布置于空余墻角或墻邊，忽略了氣流流向對工藝操作面的影響；有的設計回（排）風口又遠離產生污染的工藝設備（如粉碎機等），這些工藝設備產生的污染空氣會流到相對潔凈區(qū)域甚至全潔凈室；有的回風口布置的太少，回風速度偏大，導致全室空氣流向一處，必然存在死角，潔凈空氣難以到達。

因此，在潔凈室空調設計時，要同時參考建筑底圖和工藝布置圖，根據(jù)工藝要求進行設計：根據(jù)生產工藝特點，潔凈度要求高的，回風口布置在遠離設備側；產塵或產生其它污染氣體的，回（排）風口布置在最靠近設備處；同時，風速不宜過大，以不大于2m/s為宜，這樣，才能保證潔凈室的潔凈度，不增加衛(wèi)生死角，最大限度的保證潔凈室工藝設備的安全有效使用。

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2. 回風夾道共用問題

因潔凈室造價較高，常出現(xiàn)所留空調設計空間較小的情況，所以潔凈室空調設計中會出現(xiàn)兩相鄰潔凈室共用同一回風夾道的情況，一般情況下，相鄰潔凈室壓差不同，這樣的設計導致相對壓力值低的潔凈室無法回風，壓力高的房間空氣壓入相對低壓力房間，正壓值不能準確調試，有序的壓力梯度分布保持潔凈室的潔凈度非常重要，而共用回風夾道的設計和可能引起交叉污染。

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3. 回風口設置過濾器問題

有些潔凈室在回風口加設一層初效或中效無紡布過濾器，這種做法的好處：首先，增加潔凈室的美觀性；其次，增加回風口的阻力，使得各潔凈室之間以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差好維持；再次，可過濾一部分大顆粒的粉塵。但該種做法也存在隱患。

潔凈區(qū)內，各潔凈室之間或區(qū)域之間的靜壓值就形成了潔凈區(qū)內的壓力梯度?；仫L口上設置過濾器，增加了回風阻力，回風量減少，增加了泄漏風量，因此形成了潔凈室的靜壓。但隨著回風口上的過濾器容塵量的不斷增加，過濾器的阻力不斷增大，回風量逐漸減少，導致潔凈室的靜壓不斷升高。對于固體制劑等發(fā)塵量較大的凈化車間，各潔凈室室內的發(fā)塵量差距較大，發(fā)塵量較大的潔凈室的回風口阻力的增加速率快于其他發(fā)塵量較小的潔凈室的回風口阻力，經過一段時間后，發(fā)塵量較大的潔凈室的靜壓值會高于原先靜壓值低于它的潔凈室，根據(jù)GMP規(guī)定，發(fā)塵量較大的潔凈室應維持負壓，如若高于其他房間壓力，可能會造成空氣交叉污染。此外，過濾器有使用壽命，更換濾網不僅增加成本，同時還有可能損壞彩鋼板封邊。

因此，是否在回風口加裝過濾裝置要根據(jù)實際生產情況而定，除了增加過濾器外，還可以通過減小回風口的面積，并且使回風口可調節(jié)，也可以形成潔凈室的靜壓，達到同樣的效果。

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4.結語

維持潔凈室穩(wěn)定壓差是防止污染物侵入和交叉污染的有限途徑，只依靠空間密封來維持潔凈室無菌和潔凈度是無濟于事的，回風夾道的設計對于潔凈區(qū)域內各不同級別的潔凈功能間不同的壓力控制有重要影響，因此設計時因結合實際情況考慮多方面因素，以確保潔凈氣流定向流動，氣流只能從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū)，從高一級別潔凈室流向低一級別潔凈室，從同一潔凈室潔凈度要求高的區(qū)域流向要求低的區(qū)域，只有保證在任何情況下都能維持潔凈室內有序的梯度壓力分布不變，才能真正有效的控制潔凈度。