潔凈室基礎(chǔ)知識

1、潔凈室：就是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。（《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GB50073-2001））

2、潔凈室適用場景：航空航天、芯片、半導(dǎo)體、醫(yī)療、光電子、工業(yè)等科研和實踐場景。

例如：由于半導(dǎo)體工業(yè)所制作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過程中就必須防止外界雜質(zhì)污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機物等)，因為這些污染源可以造成元器件性能的劣化及產(chǎn)品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環(huán)境中進行，以盡量將污染源和硅片隔離?？諝庵械膲m埃狀況復(fù)雜，分布情況和粒徑大小。

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塵埃粒子的直徑分布

3、塵埃產(chǎn)生途徑：根據(jù)GB50073-2001的規(guī)定，35%由人員因素造成、25%由生產(chǎn)過程產(chǎn)生、25%由設(shè)備運轉(zhuǎn)產(chǎn)生、8%由原料中帶入、7%由空氣中漏入。

4、塵埃去除途徑：目前主要是通過空氣過濾器組合來實現(xiàn)，具體流程如下所示。

潔凈室管理原則

1、不將灰塵帶入：過濾器本身及外框無漏風(fēng)；潔凈室需保持一定的正壓；作業(yè)人員需穿接警服并經(jīng)風(fēng)淋；帶入的工具、材料等必須擦洗干凈。

2、不讓灰塵產(chǎn)生：正確穿著潔凈服；不使用容易發(fā)塵的物品及材料；減少不必要的人員走動；不用的物品嚴禁帶入。

3、不讓灰塵堆積：清掃作業(yè)不留死角，特別是不易清掃的角落和設(shè)備周圍；盡量減少風(fēng)管、配管暴露于潔凈室內(nèi)；實施標準化的清掃作業(yè)。

4、迅速排除灰塵：增大換氣次數(shù)；設(shè)備發(fā)塵部位應(yīng)有排氣；室內(nèi)的氣流形式應(yīng)使得灰塵難以在產(chǎn)品上附著。

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潔凈室內(nèi)注意事項

1、潔凈室內(nèi)禁止跑動，走路時禁止拖防靜電鞋；

2、禁止閑聊、吵鬧、大聲叫人；

3、個人用品及食物禁止搬入潔凈室內(nèi)；

4、搬入資材及易耗品等產(chǎn)生物品時必須通風(fēng)風(fēng)淋合格箱進行洗潔作業(yè)后再搬入；

5、化妝或涂指甲油的人禁止出入；

6、防靜電帽、防靜電服外露出頭發(fā)、眼眉，一般服裝不正確時立即到更衣室點檢著裝之后再次通過風(fēng)淋室后入室；

7、防靜電手套及手指套被破損或手污染時立即更換新的使用；

8、作業(yè)時防靜電帽、防靜電服及防靜電鞋破損或受污染時更換新的使用；

9、開始作業(yè)時、終了時，休息時間過后要用滾筒架清掃作業(yè)臺及周邊；

10、作業(yè)臺上禁止防止不必要的物品；

11、禁止在潔凈室內(nèi)從事與工作內(nèi)容無關(guān)的事項；

12、完成工作后整理、整頓作業(yè)臺、尺工具及周圍后退室。